Alat kalibrasi vakum komparatif merupakan peralatan penting yang digunakan untuk mengkalibrasi berbagai instrumen pengukuran vakum di bidang metrologi vakum. Prinsip intinya adalah membandingkan nilai pengukuran alat yang diuji dengan nilai pengukuran alat pengukur vakum standar (atau alat standar) dengan akurasi yang diketahui, sehingga menentukan karakteristik metrologi alat yang diuji (seperti kesalahan indikasi, pengulangan, dll.).
Kisaran penerapan perangkat ini terutama bergantung pada keakuratan pengukur vakum standar yang dilengkapinya dan kemampuan vakum tertinggi dari sistem vakum.
Ini dapat mencakup rentang tekanan yang luas dari vakum kasar (10⁵ Pa) hingga vakum ultra-tinggi (10⁻¹⁰ Pa). Ini memberikan kalibrasi untuk parameter metrologi utama seperti kesalahan indikasi, pengulangan, dan stabilitas untuk perangkat pengukuran vakum dengan prinsip dan rentang berbeda, dan merupakan perangkat kalibrasi dasar yang banyak digunakan di bidang metrologi vakum.
